当废气进入等离子光解净化设备内,首先经过等离子体化学反应过程,即电子首先从电场获得能量,再通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去,获得能量的分子或原子被激发(在外加电场的作用下,介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子,使其电离、解离和激发,然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应,使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质,或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质,从而使污染物得以降解去除)。
部分**废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链,改变物质分子结构,将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质,如水和二氧化碳等。臭氧也为强催化氧化剂进行废气催化氧化,裂解恶臭气体中细菌的分子键,破坏细菌的核酸,再通过臭氧进行氧化反应,彻底达到脱臭及灭菌的目的。